Unidade de Micro e Nanofabricação - MNTEC

 

SALA LIMPA E PROCESSOS DE MICRO E NANOFABRICAÇÃO

 

Contacto:  Mestre Ana Queirós email:  mntec@cemup.up.pt

                   Responsável Cinetífico:  Prof. Doutor Paulo Vicente da Silva Marques,  email: psmarque@fc.up.pt

 

Normas de acesso e prestação de serviços: Regulamento de Utilização e Prestação de Serviços (pdf)

                                                                              Acesso, Serviços e Formação

 

Equipamentos

Sala Limpa com área de 200 m2 (ISO6/ISO7)

         com equipamentos para suporte de actividades experimentais:

 

Fotolitografia e escrita directa a laser:

  • Escrita Directa a laser uPG101, Heidelberg

  • Alinhador de máscaras MJB, Karl Suss

  • Spinner PWM32-PS-R790, Headway Resarch Inc

Técnicas de deposição e processamento de filmes finos:

  • Sputtering / milling por feixe de iões, Commonwealth Scientific Corporation

  • Dois evaporadores e-beam, Auto 306, Edwards

  • PECVD PlasmaLab 80Plus, Oxford Instruments

  • Sputtering

  • Evaporador térmico, Edwards

  • RIE PlasmaLab 80Plus, Oxford Instruments

Facilidades tecnológicas para o corte e preparação de amostras:

  • Wire Bonder, Kulicke and Soffa

  • Serra de corte, Disco DAD3220

  • Bancadas de preparação de amostras

  • Equipamentos acessórios (estufas, hot-plates, banhos ultrassónicos, etc)

Equipamentos de Análise e medida:

  • Microscópios Ópticos, Leica, Zeiss

  • Perfilómetro Dektak XT, Bruker